真空系統設備經過設計選型等步驟，后才進入到安裝上馬階段。雖然前面有層層的檢漏等工作把關，但在這個環節仍舊需要做好一些準備工作與注意事項

真空泵、真空系統安裝前，各種零件都應該經過清潔處理，去除零件在加工、儲藏等過程中沾染的油類、污垢、焊藥等雜質，避免安裝后給真空系統內部造成氣源。其方法一般是用去污粉去污并且用熱水洗凈，后用熱風吹干并用有機溶劑擦凈。

其次是安裝前的零件檢漏工作。在安裝前對真真空泵、空系統的各部分零件進行檢漏，及時剔除有漏孔的零件，避免將有漏孔的零件組裝到真空系統上為后期的調試帶來不必要的麻煩。

第三，檢查真空閥門等元件的性能是否滿足設計時的要求。

第四，按電氣圖檢查電路是否完整，開關是否指于斷路的位置，有關測試儀表是否處于零點的位置，地線是否接地，操作是否安全等。

第五，真空系統安裝過程中的檢漏。真空系統在安裝調試過程中的檢漏是真空檢漏工作的主體。因此安裝過程必須與檢漏相結合。如現場多真空泵串聯安裝，先將機械泵安裝好并抽氣，達到真空度后再安裝主泵，而不能將系統全部安裝完再進行檢漏。否則一旦有漏氣現象，將給安裝工作帶來麻煩。同時安裝時要注意靜密封法蘭處的橡膠圈和法蘭密封面是否有劃痕，以防安裝后產生漏氣。

真空系統安裝完成后再進行空載調試以及工藝生產過程中的調試。